MEMS - 高度な結晶コントロール技術によって世界レベルの高性能な圧電薄膜を実現します。スマートフォン・ドローン・気象観測分野等のセンサー用途、HDD等の磁気ヘッド制御・体内医療分野等のマイクロアクチュエータ用途に応用。

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CO₂洗浄 - ウェハ・液晶等の各種成膜・塗布工程前の洗浄処理、水洗浄不可の電子部品・基板等への有機膜洗浄処理等、お客様の洗浄ニーズに合わせた、最適なCO₂スプレー洗浄装置をご提案いたします。

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DLC - アドバンスト マテリアル テクノロジーズ株式会社独自の技術により、材質やサイズを選ばない高機能なDLC成膜を実現。ハードディスクへの成膜装置を中心に様々な性能および複雑な形状の対象物への成膜が可能です。

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PZT事業

世界レベルの高機能な薄膜PZTを実現。様々なセンサーデバイスに応用されています。

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装置事業

当社独自の高いプラズマ制御技術を活かし、DLC成膜装置を中心に、様々な装置を手掛けています。

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アドバンスト マテリアル テクノロジーズ株式会社

KRYSTAL株式会社

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